PVD、CVD 表面處理方法，由于采用陶瓷、類金剛石鍍膜（DLC）等超硬質(zhì)皮膜鍍敷技術(shù)，被廣泛用于要求良好耐摩擦、抗氧化、耐滑動的部件制造。在這方面，關于超硬質(zhì)皮膜與母材密著性的研究，使超硬質(zhì)皮膜與母材密著性有飛躍性提高，對超硬質(zhì)皮膜的廣泛應用起了很大作用。超硬質(zhì)皮膜的代表性用途是提高切削刀具、模具以及各種零部件的性能和耐久性?，F(xiàn)在，關于超硬質(zhì)皮膜與母材密著性的研究仍十分活躍。

今后仍將對提高高功能化表面改質(zhì)皮膜的膜種和膜質(zhì)進行深入研究。其中復合皮膜的研究引人注目。例如，緩解殘余應力和提高密著性的復合皮膜就是這種皮膜。此外，出現(xiàn)了多層膜、多元膜的成膜和納米積層膜等皮膜結(jié)構(gòu)復雜化的發(fā)展動向。預計，氮化和氣相沉積的復合表面改質(zhì)技術(shù)，在提高模具和汽車部件的耐久性和高功能化方面，將會有進一步的發(fā)展。